半導體晶圓片有無檢測的三種解決方案

半導體晶圓片可以是透明晶圓片，也可以是反光的晶圓片，普通傳感器要同時檢測出這兩種晶圓片具有一定的挑戰性。   因此，使用能夠可靠地檢測這兩種晶圓片的技術非常重要。 對于真空室中檢測晶圓片， 傳感器的安裝也是一項挑戰。  

幸運的是，邦納公司提供幾種解決方案，可用于可靠地檢測真空室中的透明的和反光的晶圓片。本文介紹了可用于滿足此應用要求的3種技術。 

1. 可以穿透玻璃實現雙模檢測的激光測距傳感器

用于檢測晶圓片的種傳感器是一種能夠穿透玻璃實現雙模檢測的激光測距傳感器。  具有雙模功能的傳感器（如邦納Q4X）不僅可檢測距離的變化，還可以從穩定的背景中檢測光線強度的變化。   這使得Q4X可以高度準確地檢測具有挑戰性的目標，如透明和反光的晶圓片。  

雙模激光測距傳感器不僅能檢測被測物何時在一定距離內存在，而且還能檢測目標何時將一定量的光線返回給接收器。 為使該傳感器正常工作，必須示教一個穩定的參考表面，并記錄參考表面的距離和光強度用作基準。

透明或反光晶圓片進入光束檢測范圍而改變基于背景條件的感應的距離和光線強度。  邦納的Q4X傳感器還能夠透過玻璃窗檢測而不受干擾。 

2. 透過窗玻璃的光電傳感器

另一個檢測具有挑戰性的晶圓片的傳感器是一種采用同軸光學設計的反射板式光電傳感器。  具有透明物體檢測功能的QS18 COD可沿同一個軸發射和接收光線。這將優化透明晶圓片的檢測，顯著降低反射光引起的誤檢風險。

此外，由于發射和接收的光線都會在一道窄光束上傳輸，這些傳感器可以穿透一個小光縫，使它們可以透過玻璃窗在真空室應用。帶有偏振濾光片的光電傳感器會發射和檢測特定偏振的光波，而忽略所有其他光波。這可以進一步降低反射光引起的誤檢風險。

詳細了解用于檢測透明物體的偏振同軸光學技術。 
3. 用于真空室的光纖

后，用于真空室的光纖解決方案也可用于檢測透明或反光的晶圓片。  

使用光纖解決方案，光纖放大器安裝在真空室的外面。  適用于真空中的玻璃光纖和特殊連接頭安裝在真空腔中可將光傳導到真空腔中。

安裝光纖，使其對準適用于真空的玻璃反射板，用于檢測在光纖和反射板之間經過的玻璃和反光晶圓片。

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